포스텍 포항가속기연구소의 이상설 박사가 ‘2024 경북과학기술대상’ 과학기술진흥 부문 종합대상 수상자로 선정됐다.

이에 지난 12일 구미시에서 개최된 ‘제22회 경북과학축전’ 개막식에서 시상했다.

경북과학기술대상은 과학기술의 육성과 그 문화 확산에 현저한 기여를 한 개인 또는 단체에 수여되는 상으로 수상자는 부문별 성과, 우수성, 그리고 지역 과학기술 발전에 대한 기여도 등을 종합적으로 평가해 선정된다.

이상설 박사는 차세대 반도체 초미세화 기술인 극자외선(EUV) 노광 기술 분야에서 학계와 산업계에 공헌한 업적을 인정받았다.

2015년 포스텍 포항가속기연구소에 부임한 이상설 박사는 포항방사광가속기를 활용한 노광 기술 연구 및 첨단 분석 기술 개발을 통해 35편의 국제 SCI(E) 논문을 발표했으며, 12건의 국내외 특허를 등록하고 5건의 기술 이전을 달성하는 등 활발한 연구 성과를 거두고 있다.

경북과학기술대상 선정 과정에서는 특히 나노급 반도체 초미세화에 필수적인 극자외선 노광 기술용 양산 소재인 포토레지스트, 펠리클, 마스크의 노광 특성 평가 기술을 성공적으로 개발한 점이 주목받았다.

또한 산학연 협력을 통해 극자외선 소재 개발을 위한 산업 인프라를 구축하며, 첨단 과학기술의 국내 산업 경쟁력 강화를 이끈 공로를 인정받아 수상자로 선정됐다.
김병태 기자dcht7000@naver.com

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2024-10-14 PM 16:11:01
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